{"@context":"https://schema.org","@type":"VideoObject","name":"【超短パルスレーザー加工：最近の進展】14：ビーム整形加工（他9項目）講師：杉岡幸次","thumbnailUrl":"/api/ogp/image?pageType=video&teamId=9XMOvovx4bXNNl6izejmLEs88sg1&contentId=0cfbbdcb-1e7d-4dfa-afbf-f3b4a13f9845","uploadDate":"2024-03-08T08:03:07+00:00","description":"

【ビーム整形加工】

ビーム成形加工は最近の大きなトレンドです。加工における効率、品質、あるいは解像度を向上する目的で、従来の手法ではできなかったような加工のパフォーマンスを得るために成形加工というのが使われます。

【空間的ビーム整形】

空間ビーム成形におけるベッセルビームを使った加工について紹介します。

【ベッセルビーム加工】

ベッセルビーム加工の利点と問題点の説明です。

【ベッセルビームの応用分野】

応用分野としては、加工だと穴あけ、切断、ダイシング、それ以外にもシート顕微鏡といわれるバイオイメージングがあります。他には光ピンセット、LIDARがあります。

【ベッセルビームの応用例】

ベッセルビームの加工の一つにシリコンの加工があります。それに関してSi貫通穴（TSV）の作製の紹介をします。

【ベッセルビームの問題点の解決】

サイドローブの損傷をなくすためには、サイドローブを熱エネルギーを下げなければいけません。そこで提案したのがバイナリー構造の位相板とアキシコンレンズを組み合わせることによって、アキシコンレンズに入射するエネルギー分布を調整し、サイドローブのエネルギーを下げるということをやりました。

【整形ベッセルビームによるTSVの作製】

サイドローブのエネルギーを下げることによって、焦点深度の長さが非常に短くなるという問題点について説明します。

【デジタルPCRチップ作製への応用】

ベッセルビームの応用として行ったデジタルPCR（ポリメラーゼ連鎖反応）チップ作製の説明です。

【デジタルPCRチップの作製】

FLAE +ベッセルビームの加工システムの説明です。

【その他の応用】

ショウジョウバエが穴の空いてるところをどのように感知して歩いていくのか、脳の機能を調べるために作った例の紹介をします。次世代三次元集積回路用ガラス貫通穴電極の形成の紹介です。